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關于天津中環領先材料技術有限公司集成 電路用12英寸半導體硅片研發項目環境影響評價擬審批公示
發布日期: 2019-03-15 08:47      來源: 天津高新區     
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    1、天津濱海高新技術產業開發區行政審批局按照《中華人民共和國環境影響評價法》《中華人民共和國行政許可法》《中華人民共和國政府信息公開條例》以及相關法規、規章和規定的要求,公示建設項目環境影響評價擬審批信息。

    2、公示時限:自信息發布起5個工作日。

    3、公示期間,公眾(包括個人、團體等)可以通過郵箱或信函(以郵戳為準)方式提出意見。

    郵箱:gxqspyj@163.com

    信函請寄至:天津市華苑科技園開華道20號,天津濱海高新區行政審批局收(郵編:300384)。請在信封上注明:對天津中環領先材料技術有限公司集成電路用12英寸半導體硅片研發項目的意見。

    4、聽證權利告知:依據《中華人民共和國行政許可法》,自公示起五日內申請人、利害關系人可提出聽證申請。

    5、相關資料由行政許可申請人提供、并以其所提交的形式進行公開。上述資料和信息中如有錯漏,使用上述信息和資料作為依據者自行承擔責任。

    項目名稱

    天津中環領先材料技術有限公司集成電路用12英寸半導體硅片研發項目

    建設地點

    天津濱海高新區華苑科技園(環外)海泰東路12號

    建設單位

    天津中環領先材料技術有限公司

    環境影響評價機構

    北京欣國環環境技術發展有限公司

    項目概況

    天津中環領先材料技術有限公司(以下簡稱“領先公司”)位于天津濱海高新區華苑科技園(環外)海泰東路12號,是具有研發、制造區熔-直拉半導體硅化腐片、拋光片的高新技術企業。該地址廠區內還設立有天津市環歐半導體材料技術有限公司(以下簡稱“環歐公司”)、天津中環半導體股份有限公司(以下簡稱“中環股份”),其中環歐公司和領先公司均為中環股份的控股子公司。現領先公司擬投資18265萬元,在現有廠區擴建集成電路用12英寸半導體硅片研發項目。該項目總建筑面積6000㎡,其中利用領先公司現有預留廠房4930㎡,租用環歐公司廠房1070㎡。該項目主要建設內容為:購置安裝切線機、倒角機、磨片機、減薄機、拋光機、空壓機等工藝設備12套(臺),新增一條12英寸半導體硅片生產線。該項目預計2019年5月投產,建成后月產2萬片12英寸拋光硅片。該項目環保投資60萬元,主要用于營運期廢水收集及回用設施運行與維護、廢氣處理設施運行和維護、設備噪聲消聲減震措施、固體廢物收集暫存設施等。

    主要環境影響及預防或者減輕不良環境影響的對策和措施

    根據該項目環境影響報告表分析結論:

    (一)粘棒工序在密閉的粘棒間內進行,粘棒廢氣經車間整體全部收集,經管路引至環歐公司現有1套碳纖維吸附凈化系統處理后,通過該公司現有1根25m高排氣筒Px排放;VOCs的排放濃度和排放速率須滿足《工業企業揮發性有機物排放標準》(DB12/524-2014)中相應限值要求。

    雙面拋光清洗、預清洗、最終清洗均在清洗機內完成,清洗的過程完全處于封閉空間內,清洗廢氣均通過與設備直連的管道全部收集引至領先公司現有1套酸堿廢氣凈化裝置處理后,通過該公司現有1根25m高排氣筒P1排放;HCL、HF排放濃度和排放速率須滿足《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)中相應限值要求,氨和臭氣濃度須滿足《惡臭污染物排放標準》(DB12/-059-2018)中相應限值要求。

    (二)含堿廢水、含酸廢水和有機廢水依托中環股份現有綜合廢水處理站生化處理后由領先公司現有污水排放口排放;顆粒廢水依托環歐公司8英寸回用水系統處理后部分回用于環歐8英寸純水制備系統,純水機排濃水直接排入環歐公司污水排放口;上述廢水經市政污水管網,最終排入咸陽路污水處理廠集中處理。污水排放口水質須滿足《污水綜合排放標準》(DB12/356-2018)三級標準要求。

    (三)線紉機、倒角機、減薄機、拋光機、空壓機等設備為主要噪聲源,應優先選用低噪設備,采取消音、隔聲、減振等措施,確保廠界噪聲滿足《工業企業廠界環境噪聲排放標準》(GB12348-2008)3類、4類標準限值要求。

    (四)固體廢物分類收集。廢硅片及邊角料、廢切割線、廢包裝材料為一般固體廢物,交由物資部門回收處理;廢砂漿屬于一般固體廢物,循環至砂漿回收系統,定期排放,委外處理;廢膠、廢棄化學品包裝桶、廢活性炭、廢堿液、廢離子交換樹脂屬于危險廢物,交由有資質的單位統一處理。確保處置去向合理,避免產生二次污染。

    (五)加強對危險物料的管理,制定應急預案,落實各項事故防范、減緩措施,有效避免事故發生。

    公眾參與情況

    在2019年2月27日至2019年3月12日

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