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關于天津中環領先材料技術有限公司小尺寸拋光片擴產項目環境影響評價擬審批公示
發布日期: 2022-09-26 16:34      來源: 天津高新區     
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    1、天津濱海高新技術產業開發區政務服務辦公室按照《中華人民共和國環境影響評價法》《中華人民共和國行政許可法》《中華人民共和國政府信息公開條例》以及相關法規、規章和規定的要求,公示建設項目環境影響評價擬審批信息。

    2、公示時限:5個工作日。

    3、公示期間,公眾(包括個人、團體等)可以通過郵件或信函(以郵戳為準)方式提出意見。

    郵箱:cghbz@tht.gov.cn

    信函請寄至天津濱海高新技術產業開發區華苑科技園開華道20號,天津濱海高新區政務服務辦公室收(郵編:300384)。請在信封上注明:天津中環領先材料技術有限公司小尺寸拋光片擴產項目的意見。

    4、聽證權利告知:依據《中華人民共和國行政許可法》,自公示起五日內申請人、利害關系人可提出聽證申請。

    5、相關資料由行政許可申請人提供、并以其所提交的形式進行公開。上述資料和信息中如有錯漏,使用上述信息和資料作為依據者自行承擔責任。

    項目名稱

    天津中環領先材料技術有限公司小尺寸拋光片擴產項目

    建設地點

    天津濱海高新技術產業開發區華苑科技園(環外)海泰東路12號天津中環半導體股份有限公司(以下簡稱“中環股份”)廠區內

    建設單位

    天津中環領先材料技術有限公司

    環境影響評價機構

    聯合泰澤環境科技發展有限公司

    項目概況

    天津中環領先材料技術有限公司位于天津濱海高新技術產業開發區華苑科技園(環外)海泰東路12號天津中環半導體股份有限公司(以下簡稱“中環股份”)廠區內,是中環股份的全資子公司?,F該公司擬投資30070萬元,在現有拋光廠房、切磨廠房閑置車間建設小尺寸拋光片擴產項目。該項目占地面積4505平方米,主要建設內容為:在原集成電路用12英寸半導體硅片生產線區域內新建小尺寸半導體硅片生產線,新增滾磨機、線切機、切片清洗機等生產設備,進行拋光硅片生產;項目建成后新增年產5英寸拋光片72萬片、6英寸拋光片108萬片,最終全廠各類尺寸硅片合計年產905萬片。該項目環保投資100萬元,主要用于運營期廢氣處理設施、噪聲防治措施及排污口規范化等。

    主要環境影響及預防或者減輕不良環境影響的對策和措施

    根據該項目環境影響報告表分析結論:

    (一)粘棒工序產生的有機廢氣經集氣罩收集后通過管道引至現有碳纖維吸附凈化系統凈化后,通過現有1根25米高排氣筒(DA001)排放。拋光工序產生的有機廢氣經管道收集引至現有碳纖維吸附凈化系統凈化處理;酸腐工序產生的廢氣經管道收集后,先依托現有2臺酸霧洗滌塔凈化后,再與最終清洗工序和配液間配液產生的廢氣匯合后一同依托現有3臺酸霧洗滌塔凈化處理;上述廢氣處理后通過現有1根25米高排氣筒(DA002)排放。

    背封工序產生的廢氣經管道收集后引至現有燃燒塔+洗滌塔處理后,通過現有1根25米高排氣筒(DA003)排放。腐前清洗、腐后清洗、綜合清洗、去邊、拋光后清洗工序產生的廢氣經管道收集后引至現有1臺酸霧洗滌塔凈化后,通過現有1根25 米高排氣筒(DA004)排放。切片清洗、磨片清洗工序產生的廢氣經管道收集后引至新建1臺酸霧洗滌塔凈化后,通過新建1根25米高排氣筒(DA007)排放。

    上述排氣筒排放的廢氣中,非甲烷總烴、TRVOC的排放速率和排放濃度須滿足《工業企業揮發性有機物排放控制標準》(DB12/524-2020)相應限值要求;NOX、HF、HC1排放速率和排放濃度須滿足《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)二級標準限值要求;氨的排放速率和臭氣濃度須滿足《惡臭污染物排放標準》(DB12/059-2018)相應限值要求;顆粒物的排放速率和排放濃度須滿足《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)相應限值要求。

    (二)顆粒廢水經領先公司現有板框壓濾系統處理后進入中環股份污水處理站顆粒廢水預處理系統;含氟廢水進入中環股份廢水綜合處理站含氟廢水預處理系統;上述廢水預處理后再與清洗廢水、酸堿廢水一同進入中環股份廢水綜合處理站處理;處理后廢水返回至領先公司再與回用水系統排水、純水制備排濃水及生活污水一同進入領先公司總排口(DW001)排放,最終經市政管網排入咸陽路污水處理廠集中處理。領先公司總排口(DW001)廢水水質須滿足《電子工業水污染物排放標準》(DB39731-2020)相應限值要求。

    (三)滾磨機、線切機、磨片機、風機等各類生產設備為主要噪聲源。應優先選用低噪聲設備,采取隔聲、減振、距離衰減等措施,確保廠界晝、夜間噪聲滿足《工業企業廠界環境噪聲排放標準》(GB12348-2008)3類、4類標準限值要求。

    (四)固體廢物分類收集。生活垃圾袋裝收集,交由城市管理部門統一清運;廢硅片及邊角料、廢棄包裝材料、廢濾布、顆粒廢水污泥等屬于一般固體廢物,廢硅片及邊角料、廢棄包裝材料交由物資回收部門處理,廢濾布、顆粒廢水污泥交由城市管理部門統一清運;廢化學品包裝桶、廢膠、含拋光蠟廢液、混酸廢液等屬于危險廢物,交由有資質單位統一處理。污水處理站產生的污泥,由中環股份污水處理站第三方運營單位根據鑒定結果處理。確保處置去向合理,避免產生二次污染。

    (五)加強對危險物料的管理,制定應急預案,落實各項事故防范、減緩措施,有效避免事故發生。

    公眾參與情況

    ——

    公示時間

    2022年9月27日至2022年10月8日

    2022年9月26日

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