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關(guān)于青禾晶元(天津)半導(dǎo)體材料有限公司高質(zhì)量鉭酸鋰鈮酸鋰復(fù)合襯底材料項目環(huán)境影響評價擬審批公示
發(fā)布日期: 2022-11-30 15:49      來源: 天津高新區(qū)     
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    1、天津濱海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)政務(wù)服務(wù)辦公室按照《中華人民共和國環(huán)境影響評價法》《中華人民共和國行政許可法》《中華人民共和國政府信息公開條例》以及相關(guān)法規(guī)、規(guī)章和規(guī)定的要求,公示建設(shè)項目環(huán)境影響評價擬審批信息。

    2、公示時限:5個工作日。

    3、公示期間,公眾(包括個人、團(tuán)體等)可以通過郵件或信函(以郵戳為準(zhǔn))方式提出意見。

    郵箱:cghbz@tht.gov.cn

    信函請寄至天津濱海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)華苑科技園開華道20號,天津濱海高新區(qū)政務(wù)服務(wù)辦公室收(郵編:300384)。請在信封上注明:青禾晶元(天津)半導(dǎo)體材料有限公司高質(zhì)量鉭酸鋰鈮酸鋰復(fù)合襯底材料項目的意見。

    4、聽證權(quán)利告知:依據(jù)《中華人民共和國行政許可法》,自公示起五日內(nèi)申請人、利害關(guān)系人可提出聽證申請。

    5、相關(guān)資料由行政許可申請人提供、并以其所提交的形式進(jìn)行公開。上述資料和信息中如有錯漏,使用上述信息和資料作為依據(jù)者自行承擔(dān)責(zé)任。

    項目名稱

    青禾晶元(天津)半導(dǎo)體材料有限公司高質(zhì)量鉭酸鋰鈮酸鋰復(fù)合襯底材料項目

    建設(shè)地點

    租賃天津濱海高新區(qū)渤龍湖科技園高泰道4號聯(lián)東U谷園區(qū)內(nèi)10-1號、10-2號樓

    建設(shè)單位

    青禾晶元(天津)半導(dǎo)體材料有限公司

    環(huán)境影響評價機構(gòu)

    中環(huán)科力(北京)環(huán)境科技發(fā)展中心

    項目概況

    青禾晶元(天津)半導(dǎo)體材料有限公司擬投資20220萬元,租賃天津濱海高新區(qū)渤龍湖科技園高泰道4號聯(lián)東U谷園區(qū)內(nèi)10-1號、10-2號樓,建設(shè)高質(zhì)量鉭酸鋰鈮酸鋰復(fù)合襯底材料項目。該項目總建筑面積3212.4㎡,主要建設(shè)內(nèi)容為:設(shè)置工藝區(qū)、真空設(shè)備區(qū)、檢測實驗及研發(fā)區(qū)等區(qū)域,購置離子注入機、熱處理爐、CMP機、清洗機、修復(fù)及檢測設(shè)備等,進(jìn)行鉭酸鋰襯底片和鈮酸鋰襯底片生產(chǎn),建成后可實現(xiàn)年產(chǎn)襯底片2萬片,其中鉭酸鋰襯底片和鈮酸鋰襯底片各1萬片。該項目環(huán)保投資200萬元,主要用于營運期廢氣收集治理措施、廢水治理措施、噪聲污染防治措施、固體廢物收集及排污口規(guī)范化等。

    主要環(huán)境影響及預(yù)防或者減輕不良環(huán)境影響的對策和措施

    根據(jù)該項目環(huán)境影響報告表分析結(jié)論:

    (一)離子注入工序未分解的特種氣體經(jīng)設(shè)備配套的scrubber吸附式處理器處理后,與清洗工序產(chǎn)生的廢氣、化學(xué)機械拋光工序產(chǎn)生的酸堿廢氣一并匯入1套“減水噴淋”凈化系統(tǒng)處理后,通過1根17m高排氣筒P1排放。化學(xué)機械拋光工序產(chǎn)生的有機廢氣經(jīng)管道引入1套“活性炭吸附”凈化系統(tǒng)處理后,通過1根17m高排氣筒P2排放。鍵合、修復(fù)、熱處理工序產(chǎn)生的廢氣采用獨立的排風(fēng)系統(tǒng)收集,通過一根17m排氣筒P3排放。

    P1排氣筒氯化氫、氟化物排放濃度及排放速率須滿足《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)相應(yīng)限值要求,氨的排放速率及臭氣濃度須滿足《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB12/059-2018)相應(yīng)限值要求,磷化氫排放濃度及排放速率須滿足《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB31/933-2015)相應(yīng)限值要求。P2排氣筒非甲烷總烴、TRVOC排放濃度及排放速率須滿足《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機物排放控制標(biāo)準(zhǔn)》(DB12/524-2020)相應(yīng)限值要求,臭氣濃度須滿足《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB12/059-2018)相應(yīng)限值要求。

    (二)工藝清洗廢水、堿性噴淋凈化水經(jīng)自建污水處理設(shè)施處理后,與純水設(shè)備排濃水及生活污水一并進(jìn)入企業(yè)所在建筑獨立污水排口后經(jīng)聯(lián)東U谷廠區(qū)污水總排口進(jìn)入市政污水管網(wǎng),最終進(jìn)入濱海高新區(qū)污水處理廠集中處理。

    廠區(qū)污水總排口污染物pH值、COD、SS、氨氮、總磷、總氮、氟化物、石油類、TOC的排放濃度須滿足《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020)相應(yīng)限值要求;BOD5排放濃度須滿足《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB12/356-2018)三級標(biāo)準(zhǔn)限值要求。

    (三)離子注入機、鍵合機、熱處理爐、清洗機、空壓機、水泵、環(huán)保設(shè)備風(fēng)機等設(shè)備為主要噪聲源,應(yīng)優(yōu)先選用低噪聲設(shè)備,采取隔聲、減振、距離衰減等措施,確保廠界晝、夜間噪聲滿足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)3類標(biāo)準(zhǔn)限值要求。

    (四)固體廢物分類收集。生活垃圾袋裝收集,定期交由城市管理部門清運;廢包裝材料、廢過濾網(wǎng)、不合格產(chǎn)品、廢空氣過濾材料屬于一般固體廢物,交由物資回收部門處理;廢反滲透膜屬于一般固體廢物,交由廠家統(tǒng)一回收;清洗廢液、廢吸附材料、廢化學(xué)試劑包裝瓶、沾染廢物、廢活性炭、污水處理污泥等屬于危險廢物,交由有資質(zhì)單位統(tǒng)一處理;確保處置去向合理,避免產(chǎn)生二次污染。

    (五)加強對危險物料的管理,制定應(yīng)急預(yù)案,落實各項事故防范、減緩措施,有效避免事故發(fā)生。

    公眾參與情況

    ——

    公示時間

    2022年12月1日至2022年12月7日

    2022年11月30日

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